半導(dǎo)體壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說(shuō)明

傳感器芯片結(jié)構(gòu)

在硅芯片受壓部（硅膜片）中，與通常的IC制造工序相同，通過(guò)雜質(zhì)擴(kuò)散形成硅量規(guī)。

當(dāng)對(duì)硅芯片施加壓力時(shí)，表電阻根據(jù)撓度變化，并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。（抗磁阻效應(yīng)）

該量規(guī)的特征在于較大的量規(guī)系數(shù)。（金屬規(guī)格為2到3，而硅規(guī)格為10到100）。

因此，可以獲得高輸出，從而可以用厚的膜片來(lái)制造并且可以改善壓力傳感器的耐壓性。

適用機(jī)型

半導(dǎo)體型壓力傳感器

VDP4，VSW2（低壓）等

半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說(shuō)明

半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器是直接接觸測(cè)量介質(zhì)的高度耐腐蝕的金屬膜片（例如Hastelloy C-22或SUS316L），以及通過(guò)封閉的硅油檢測(cè)壓力的硅芯片（硅膜片）。 ）被使用。

SUS316L膜片（或Hastelloy C-22等）通過(guò)壓力入口與測(cè)量介質(zhì)直接接觸，從而可以穩(wěn)定地測(cè)量不會(huì)浸透的介質(zhì)（空氣，水，油等）。 。[O形圈（氟橡膠）用于在連接螺紋形狀為G3 / 8時(shí)與管道進(jìn)行密封。]

特色功能

可以制造可以測(cè)量正壓力，負(fù)壓力，復(fù)合壓力和絕對(duì)壓力的各種傳感器元件。

耐腐蝕性能極佳，因?yàn)橹苯咏佑|介質(zhì)的受壓材料等效于Hastelloy C-22，并且可以用SUS316L制造。

厚厚的硅芯片隔膜可檢測(cè)壓力，因此具有出色的耐壓性

適用機(jī)型

半導(dǎo)體膜片式壓力傳感器

VESW，VESX，VESY，VESZ，VHR3，VHG3，VAR3，VAG3，VPRNP，VPNPR，VPNPG，VNF，HS1，HV1，AS1，AV1，NS1，NV1，VESI，VESV，VSW2，VST等

應(yīng)變片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說(shuō)明

應(yīng)變片式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說(shuō)明

左圖所示的電阻橋粘貼在受壓部的金屬膜片的背面，將因壓力而變化的金屬膜片的變形量檢測(cè)為電壓變化。

由于在金屬膜片表面上存在變形量高低的地方，因此連接了四個(gè)電阻，因此，即使變形量存在偏差，也可以正確地檢測(cè)結(jié)構(gòu)。

特色功能

無(wú)縫的隔膜和焊接的O型圈接頭，堅(jiān)固耐用，使用壽命長(zhǎng)

高精度，高溫（150℃）兼容生產(chǎn)

適用機(jī)型

應(yīng)變片壓力傳感器

VSD4，NSMS-A6VB，HSSC，HSSC-A6V，VHS，VHST，HSMC2，HSMC，VPE，VPB，VPRT，VPRTF，VPRQ，VPRQF，VPVT，VPVTF，VPVQ，VPVQF，VPRF，VFM，VF ，VFS，VTRF，VPRF2，VPRH2等。

薄膜型壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說(shuō)明

薄膜型壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和操作說(shuō)明

我們的薄膜型壓力傳感器是隔膜型，并使用金屬規(guī)格的薄膜。當(dāng)從壓力入口施加壓力時(shí)，膜片變形，并且檢測(cè)到當(dāng)在膜片上形成的金屬規(guī)薄膜變形時(shí)發(fā)生的電阻變化。

與應(yīng)變計(jì)壓力傳感器相比，可以獲得高靈敏度的輸出，并且溫度系數(shù)小于半導(dǎo)體壓力傳感器的溫度系數(shù)。

特色功能

恒定的溫度系數(shù)，具有出色的溫度特性

長(zhǎng)期穩(wěn)定的輸出，幾乎沒(méi)有長(zhǎng)期變化

能夠處理高溫（200°C）

適用機(jī)型

VSW2

測(cè)量原理

當(dāng)輸入端有電流流動(dòng)并且在金屬量規(guī)薄膜上施加壓力并發(fā)生變形時(shí)，它表現(xiàn)為輸出側(cè)電信號(hào)的變化。